简要描述：PLAZMARK氩气清洗专用款为日本 SAKURA 樱花 PLAZMARK 系列耗材，专门适配氩气、氦气离子轰击型等离子工艺，区别于氧气自由基专用指示剂。感应涂层接触氩等离子离子后产生肉眼可见的渐变变色，无需专业检测仪器，快速直观验证真空腔体内等离子强度与分布均匀性。
设有 4 档灵敏度型号（No.20/21/22/23），提供卡片、背胶标签、片材多种形态；基材为 PET 薄膜，洁净低析出。

PLAZMARK氩气清洗专用款产品概述：该指示剂可提升电离氩等离子体的检测效率，氧气清洗型指示剂很难检测出电离氩等离子体。使用本指示剂能够更高效地检测电离氩等离子体，而采用氧气清洗型指示剂则难以实现检测。

提供4种不同的灵敏度类型和3种不同的形状类型：

“只需放置"卡牌类型                                                                                “粘贴"标签类型                                                    “大面积分布评估"表类型

变色：

处理后颜色变化与AU蚀刻速率的比较                                                     

处理后颜色变化与AU蚀刻速率的比较                                                     色彩差异与 AU 蚀刻速率的相关性

（等离子体状态：Ar = 20 Pa，RF = 80-140 W）

PLAZMARK™ 用于 AR 清洁

加工气体（等离子体种类）：如氬，适用于离子控制等离子体的气体（包括氬，稀有气体，难以通过氧气清洗检测）