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| 品牌 | 其他品牌 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 化工,电子/电池,综合,半导体,机械设备 |
液晶光取向 用于液晶取向工艺的紫外线偏振曝光。
紫外线敏感材料 用于紫外线敏感型材料的偏振曝光研究。
多种基材 用于塑料、无机薄膜、金属等材料的偏振曝光实验。
EHC LUP300‑56 紫外线偏振曝光装置面向各种需要偏振紫外线曝光的应用开发。目前主要用于液晶光取向工艺中的偏振曝光实验及研究开发。随着紫外线敏感型材料应用的增加,对其他各类材料进行偏振紫外线照射及研究其反应也具有重要意义。本设备旨在满足相关科研与开发人员的实验需求。
项目 | 技术参数 |
设备型号 | LUP300-56 |
光源 | 300 W 汞氙灯(Hg + Xe Lamp) |
光谱分布 | 参见下方汞氙灯辐射光谱图 |
偏振度 | 98%(仅 S 偏振光) |
辐照度分布偏差 | ±7% |
平行度 | ±3% |
有效照射面积 | 30 mm × 30 mm |
工件载物台 | 40 mm × 40 mm;H 方向可倾斜 30° |
说明:如需更大照射面积的偏振曝光装置,请另行向制造商咨询。
汞氙灯辐射光谱各测量位置对应的辐照强度如下。原图已注明:光谱曲线高度与实际测量值不同。

05 辐照度与偏振度的测试方法
辐照度评价采用 5 枚宽带滤光片和硅光电二极管。依据滤光片透射率与硅光电二极管的光谱响应灵敏度,计算各波长范围内的辐照度。所用硅光电二极管按照日本电子技术综合研究所(电总研)的光谱响应标准进行了校准。
测量结果显示,在 250~295 nm 波段内,辐照度为 11.57 mW/cm²。此外,使用格兰-汤姆逊棱镜(Glan–Thompson Prism)作为检偏器进行评价,确认该波段的偏振度为 98%(仅 S 偏振光)。
原始资料中提供正视图、侧视图和主要尺寸标注:长约 700、宽约 280、高约 600(按常用机械图纸表示,推定单位为 mm,正式使用请与厂家确认)。
图 3 设备外形尺寸示意图(原资料尺寸图)
① 液晶光取向工艺中的紫外线偏振曝光实验;② 紫外线敏感型材料的偏振曝光实验;③ 塑料、无机膜、有机膜、金属等材料的偏振曝光研究。
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