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日本MSA 高温炉 硅片加热炉

产品时间:2022-05-08
日本MSA 高温炉 硅片加热炉
用于加热大型基材和玻璃的升降机,带盖热板PA-LIF系列,晶圆加热(RP系列),材料表面研究和评估,无机材料热处理,耐热性评估,烘烤等。RP系列有双面加热和石英钟罩的选项,可以用于材料的气体置换。 RP系列也可用于气体置换和材料的加热。

日本MSA 高温炉 硅片加热炉

主要应用。

用于加热大型基材和玻璃的升降机,带盖热板PA-LIF系列,晶圆加热(RP系列),材料表面研究和评估,无机材料热处理,耐热性评估,烘烤等。RP系列有双面加热和石英钟罩的选项,可以用于材料的气体置换。 RP系列也可用于气体置换和材料的加热。

MSA工厂加热知识

各种技术诀窍集中在材料(超级耐热板、热变形对策、钛合金底盘)、加热器设计、绝缘、热辐射等方面。

高性能和多功能性

可提供定制的附加功能,例如用于加热和运输大型板材的升降机功能(垂直板材驱动),以及处理加热过程中板材变形的真空吸盘功能。

安全功能

该控制器配备了安全功能,包括超温监测功能、紧急停止功能、泄漏检测功能和负载断开功能。

温度控制范围:室温至1000℃ 温度分布:±3%或更少(在加热区域内)

尺寸:RP-10080-4(用于4英寸),-6(用于6英寸),-8(用于8英寸)。

选项:石英钟罩、质量流量等,其他定制。

特点

超高温(MAX 1000°C)硅片加热炉 - 平行板式,用于均匀加热 - 气体吹扫功能(惰性气体N2,Ar)。

控制器上标配的数字流量计 50 L/min (设置单位0.1 L/min)

氧气兼容的质量流量型选项 - 两个控制器(用于上、下层热板),具有温度程序功能

石英钟罩(气体吹扫功能)选项

日本MSA 高温炉 硅片加热炉

型号PA2560-LIFPA4060-LIFPA8020-LIFRP10020
最高温度250℃400℃800℃1000℃
尺寸600×600mm600×600mm220×220mm220×220mm
板材材料铝合金超耐熱合金
电源电压AC200V
可选电动升降机,真空吸能器电动升降机, 真空吸附, 电动传送面 快门、电动升降机双面加热功能
特点带手动绝热罩,其他可通过自动操作进行处理输送部分,侧向卸货

转移机器人

支持的类型

高达800℃的超高温达到超高温1000℃ 对应石英玻璃 惰性气氛下的加热
温度     控制器PCC118-LIF-TP、触摸面板 监视器臂式PCC118-LIF-TPPCC118-LIF-TPPCC118-W-TP



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