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日本EHC VD-400减压室

产品时间:2022-05-05
日本EHC VD-400减压室
一个减压的干燥系统,带有触摸面板控制的配方操作。
VD-400是一个减压室,用于在抗蚀剂应用后对玻璃基材进行涂层。
该设备用于减压干燥。

日本EHC VD-400减压室

一个减压的干燥系统,带有触摸面板控制的配方操作。

VD-400是一个减压室,用于在抗蚀剂应用后对玻璃基材进行涂层。

该设备用于减压干燥。

VD-400减压室特点。

通过触摸面板控制简化操作。

可进行配方操作(允许复制操作程序)。

两级排风减少了风的波纹和气泡。

蝶形阀的使用使真空排气量得以设定。

日本EHC VD-400减压室

主要规格。

外部尺寸400毫米×400毫米,高度103毫米(盖子关闭时)。

        内部尺寸350毫米x350毫米,高度30毫米

○ 真空:可实现的真空度约为1Pa或更低(无负载时)。

规格。

0室:外部尺寸400mm x 400mm,高度103mm(盖子关闭时)。

      内部尺寸350毫米x350毫米,高度30毫米

0 真空系统:可实现的真空度:1帕或更低(不含样品)

     干式泵250升/分钟

达到设定压力时,自动释放到大气中。

      时间模式 在设定的减压时间后自动释放大气。

0 实用:3Φ AC200:干燥空气 0.4-0.6 MPa:真空抽气

z 外部尺寸:(宽)1000 x(长)800 mm x(高)1600 mm

0 设备重量:约250公斤




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