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AR膜缺陷检测系统
产品时间：2023-03-14
减反射增透膜（ Anti-Refletance），简称AR膜， 是在玻璃基片上镀多层复合光学膜，采用低折射率（L）和高折射率（H）材料交替形成膜堆，通过精心的膜层设计和膜厚严格控制，利用干涉效应减少基片表面反射。
AR膜缺陷检测系统是用于玻璃基板防反射涂层的缺陷检查设备。 用倒置显微镜和线型摄像机对透明基板的表面和背面进行高速扫描和检测，并显示检测结果。
AR膜缺陷检测系统特点和功能
1.目标基板 大400mm，透明基板自动对焦检测。
2.检测缺陷：AR胶片基板上的白色异物（缺失）或黑色异物，检测分辨率2.8μm（1.4μm）。
3.远程控制复核检查， 摄像机/照明/物镜变化/舞台和焦点。
紧凑的设计，采用倒置光学系统，高性能的线相机和复查相机检测。
检验舱门升起，将板子放在支架上进行高速清洁检验。 配有水平FFU
AR膜缺陷检测系统性能
正常模式：5倍，分辨率2.8μm，检测面/宽度3mm×80mm/秒+α。
高性能模式：10倍，分辨率1.4μm：检测面/宽度1.5mm×40mm/秒+α。
另有标记功能